華洋精機（6983）為AOI設備產業鏈中上游廠商，可同時檢測EUV與 DUV光罩微粒。華洋總經理蕭賢德表示，今年隨客戶擴產，營運預期仍有雙位數成長。此外，公司延伸發展清潔設備，並針對各站點發展檢測模組，新產品貢獻也將發酵。

　　華洋預定5月下旬掛牌上櫃，暫定每股承銷價85元。

　　蕭賢德表示，華洋精機是台灣目前唯一可同時檢測EUV與DUV光罩微粒的設備商，突破過去由國外長期壟斷市況，並成功切入晶圓代工大廠的先進製程供應鏈。

　　蕭賢德表示，傳統Non-SFO技術需先拍攝原始影像、再以軟體過濾背景，不僅增加計算時間，也可能造成缺陷失真、影響判讀。華洋自有SFO（表面光學去背景）技術透過專利光源設計，於取像階段即取得「無底圖影像」，可直接辨識缺陷、簡化演算法負擔，並計算瑕疵尺寸。

　　此技術可延伸至CoWoS先進封裝、晶圓與石英玻璃表面等多元缺陷檢測場景，驗證能力已通過先進製程客戶的嚴格門檻，後續隨海外擴廠與先進封裝產能擴張，訂單能見度高，可望推升今年營收達兩位數的高成長。

　　華洋精機受惠高階機種出貨擴大，成長動能轉強。近三年強勁成長，2025年合併營收3.12億元，年增24％，每股稅後純益4.46元。

　　蕭賢德補充，清潔設備新產品預期今年下半年到明年發酵。此外，還針對各站發展檢測模組，可針對鍍膜不均所造成的曝光問題做判讀。該公司也和國際大廠合作開發高倍率量測設備，目前產品已準備好了，今年有機會貢獻營收。