半導體自動光學檢測（AOI）設備廠華洋精機（6983）將於5月掛牌上櫃，暫定每股承銷價85元。華洋精機總經理蕭賢德昨（28）日表示，今年營收可望成長雙位數水準，隨既有客戶持續擴廠，將積極拓展日本市場。2025年營收3.12億元，年增24%，稅後淨利7,097萬元，每股純益4.46元。

蕭賢德指出，華洋精機2012年10月成立，2017年出貨第一台光罩檢測機給國際晶圓廠客戶，2022年極紫外光（EUV）光罩檢測設備首度導入國際晶圓廠。以獨到的表面光學（SFO）技術競爭優勢，能做到全方位檢出，可以檢測凸起的缺陷以及平面缺陷，是目前台灣本土唯一可同時檢測EUV與DUV光罩微粒的設備供應商，突破海外大廠長期壟斷的市場格局，並切入全球頂尖晶圓代工廠的先進製程供應鏈。

受惠AI與HPC應用帶動先進製程微縮、EUV光罩與CoWoS等先進封裝擴產需求浮現，高精度、全檢與即時檢測需求快速升溫，半導體檢測設備躍升為影響良率關鍵環節。